* PV 가공 편차 + Max: Target(5.5)+0.50 ㎛
* PV 가공 편차 – Max: Target(5.5)-0.30 ㎛
| < 단위: ㎛ > |
|
| Model |
Target |
TRY |
입광부 |
중앙부 |
|
가공 편차 |
가공 재현성 편차 |
Total 편차 |
비고 |
| 입광부-중앙부 |
입광부 편차(P-V) |
중앙부 편차(P-V) |
| A |
5.5 |
1 |
5.546 |
5.600 |
O |
-0.054 |
0.012 |
0.055 |
Target -0.054 |
|
| 2 |
5.534 |
5.545 |
O |
-0.011 |
| B |
5.5 |
1 |
5.450 |
5.370 |
O |
0.080 |
0.110 |
0.185 |
Target +0.100 |
|
| 2 |
5.655 |
5.555 |
O |
0.100 |
| C |
5.5 |
1 |
5.545 |
5.480 |
O |
-0.065 |
0.115 |
0.005 |
Target -0.055 |
|
| 2 |
5.430 |
5.485 |
O |
-0.055 |
| D |
5.5 |
1 |
5.683 |
5.520 |
O |
0.163 |
0.096 |
0.170 |
Target +0.163 |
|
| 2 |
5.675 |
5.610 |
O |
0.065 |
| 3 |
5.600 |
5.690 |
O |
0.090 |
| 4 |
5.600 |
5.540 |
O |
0.060 |
| 5 |
5.589 |
5.630 |
O |
0.041 |
| E |
5.5 |
1 |
5.330 |
5.495 |
O |
-0.165 |
0.170 |
0.050 |
Target -0.165 |
|
| 2 |
5.500 |
5.510 |
O |
-0.010 |
| 3 |
5.450 |
5.545 |
O |
-0.095 |
| 4 |
5.450 |
5.525 |
O |
-0.075 |
| 5 |
5.450 |
5.525 |
O |
-0.075 |
|
|
